СЕНСОРНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА, ДАТЧИКИ: ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ СЕНСОРНЫЕ СТРУКТУРЫ НА КРЕМНИИ. Учебное пособие для вузов

Курс «Твердотельные сенсорные структуры на кремнии» посвящен изложению анализу фундаментальных и прикладных свойств гетероструктур с сенсорными свойствами, изготовленных из современных материалов c различными по характеру и масштабу пространственно-энергетическими неоднородностями, нанокристаллических, аморфных, пористых, (микро)гетерогенных и гетерофазных, имеющих сложные профили распределения локализованных состояний на гетерограницах. Основное внимание уделено описанию низко- и высокочастотных вольт-фарадных и динамических вольт-амперных характеристик МДП- и МОП-структур с «активными» в отношении адсорбции/десорбции диэлектриками и оксидами металлов, которые можно эффективно использовать для диагностики сенсорных свойств. Содержание соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по естественнонаучным направлениям.