Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: Учебное пособие. 2-е изд
КнигиРассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
$47.49
Вес | 18.8 унция |
---|---|
Габариты | 8.5 × 5.7 × 1.0 дюйм |
handling_time | 14 days |
ISBN | 978-5-9729-2209-3 |
EAN | 9785972922093 |
Издательство | |
переплет | Твердый переплет |
Автор | |
дата-получения | 02.07.2024 |
Год выпуска | |
SKU | 11399270 |
Отзывы
Отзывов пока нет.