Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Учебная литератураКнига посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.
$57.99
Вес | 21 oz |
---|---|
Габариты | 8.5 × 5.7 × 1.0 in |
ISBN | 978-5-534-03170-6 |
EAN | 9785534031706 |
Формат | 60×90/16 |
Издательство | |
Серия | |
Переплет | Твердый переплет |
Автор | |
Стандарт | 10.0000 |
Дата получения | 29.02.2016 |
Год выпуска | |
Количество страниц | 460 |
SKU | 490268 |
Формат, мм\см | 145×215 |
Язык | |
Тип издания | Отдельное издание |
Тираж | 4 |